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石英坩埚的取材和碱金属含量对单晶生长的影响
点击次数:61 发布时间:2019-11-26
   石英坩埚的取材对单晶生产的影响。
  石英坩埚的几何尺寸和外观是生产工艺确定的,而纯度是由原料确定的。石英坩埚用的原料要求纯度高、一致性好、粒度分布均匀,有害成分高时会影响坩埚的熔融制,影响其耐温性,还会出现气泡、色斑、脱皮等现象,严重影响石英坩埚的质量。
 
  此外,石英坩埚下陷后,石墨坩埚裸露,引起碳含量超标。并且坩埚内表面气泡多,杂质点、斑点多,拉晶过程中脱落下的石英砂容易使单晶卡棱。因此,石英坩埚的选材对拉晶的成品率与品质来说是至关重要的。
 
  石英坩埚中碱金属含量对单晶生长的影响
  石英坩埚是由高纯石英砂烧制而成,由于石英砂中存在高达13中有害金属元素,因此石英砂的纯度对石英坩埚的质量起到了决定性作用。硅的熔点为1420℃,坩埚的熔点比它稍高一点,在硅液溶化后会不断的对坩埚内表面进行侵蚀,这样一来,坩埚中的金属会不同程度的释放到晶棒中从而影响单晶的品质,尤其在当下整个市场都在降低拉晶成本的大环境下。
 
  因此,碱金属对石英坩埚的品质性能影响很大,另外坩埚中的NAK元素含量越低,坩埚的抗变形能力越强,对单晶的成品率提升越有利,因此,石英坩埚中NAK的降低有利于提高坩埚的软化点,提高单晶品质。